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16K 5μm 고속 TDI 카메라 대응 고정밀 Kelly-Diamond 5.0x 렌즈
2020.06Hit. 69


Kelly-Diamond 시리즈는 이오비스가 슈나이더사와 독점 개발한 최고 사양의 렌즈로서 최근 출시헌16K 5μm 센서 TDI 라인스캔 카메라에 최적화된 렌즈 시리즈입니다. 동축 조명을 적용할 수 있도록beam splitter 프리즘이 장착되어 있고, 렌즈 중앙부에서 최외곽부까지 전체영역에서 선명한 최상의영상 품질을 보증합니다. OLED 디스프레이 패널 제조 공정의 핀홀 결함과 같은 미세 불량 검사에이상정인 제품입니다.



Kelly-Diamond 5.0x 렌즈 장점

  • 해상도 1μm를 구현하여, Open, Short, Pinhole 결함 0.4μm 검출 가능
  • 전 영역에 대한 MTF성능 편차가 매우 적음
  • 2.2kg의 가벼운 렌즈 개발로 다양한 장비 환경에 대응 가능

주요 특징

  • 16K 5μm 라인 센서 대응 (82mm 센서 포멧)
  • 1μm 이하 미세 불량 검출용 고배율 렌즈
  • 전체 영역에서 최상의 영상 품질
  • 동축조명 지원 Beam Splitter 프리즘
  • 이오비스 독점 개발 제품

응용 분야

  • OLED & μLED 미세 결함 검사
  • FMM 검사
  • 반도체 wafer 검사
  • PCB & film 검사
  • Camera filter 검사


MTF 성능


  • 동축 FIBER 조명 기준
  • IOVIS MTF 분석 Tool 사용
  • 330LP에서 검증(선폭 1.5μm 기준)





  • Pinhole 결함은 0.4 μm 이상 검출 가능함.
  • Open성, Short성 결함도 0.4 μm이상 검출이 가능하며, Island성 결함은 0.9 μm이상 검출 가능함.


렌즈 사양

  Kelly-Diamond 5.0x
Magnification 5.0
Pixel resolution(um) 1.0
F-Number(infinite) 1.4
F-Number (finite) 8.4
NA (Object) 0.298
Resolving Power (um) [Object] 1.1
Depth of Field (um) 7
Lens TYPE Conventional
IRIS TYPE Changeable
TOTAL LENGTH (mm) 665
W.D (mm) 31.3
Optical Distortion < 0.1%
Wavelength (nm) Visible
Image height(MAX) mm 82
Relative Illumination less than 5% (legt/right Edge)
Beam Splitter(T)mm 35 x 35 (BK7)
Focal length (mm) 92
Lens Weight(kg) 2.2


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